Produktmerkmale und Wettbewerbsvorteile
Umfassendes Ventilportfolio für jede Funktion: Wir bieten ein vollständiges Spektrum an Vakuumventiltypen, um den unterschiedlichen Systemanforderungen gerecht zu werden. Dazu gehören Absperrschieber für die Isolierung mit hoher Leitfähigkeit in UHV-Systemen, Eckventile für effiziente Strömungsrichtungsänderungen in kompakten Räumen, Absperrklappen für die schnelle Isolierung in großen Kanälen und Präzisions-Leckventile für die kontrollierte Gaseinleitung. So stellen Sie sicher, dass Sie das perfekte Ventil für Absperr-, Steuer- oder Entlüftungsfunktionen finden.
Fortschrittliche Dichtungstechnologien für ultimative Integrität: Unsere Ventile nutzen hochmoderne Dichtungslösungen, um das erforderliche Vakuumniveau zu erreichen und aufrechtzuerhalten. Für Hochvakuumanwendungen (HV) bieten wir hochwertige Elastomerdichtungen wie Viton® an. Für Ultra-Hochvakuum (UHV)- und Hochtemperaturumgebungen bieten wir vollständig-Metalldichtungen und Faltenbälge-abgedichtete Konstruktionen an, die Ausheiztemperaturen von bis zu 450 Grad standhalten und Heliumleckraten unter 1x10⁻¹⁰ mbar·L/s erreichen, sodass keine Kontamination entsteht.
Optimiert für hohe Leitfähigkeit und minimale Ausgasung: Die Innengeometrie unserer Ventile ist sorgfältig darauf ausgelegt, die Leitfähigkeit zu maximieren und den Strömungswiderstand und die Pumpausfallzeit zu minimieren. Alle benetzten Oberflächen werden auf eine geringe Rauheit (typischerweise Ra < 0,5 µm) bearbeitet und häufig elektropoliert, um die Oberfläche und die Ausgasung drastisch zu reduzieren, was für das Erreichen und Aufrechterhalten niedriger Basisdrücke entscheidend ist.
Robuste Konstruktion mit standardisierten Anschlüssen: Unsere aus Edelstahl 304 oder 316L gefertigten Ventile bieten hervorragende Korrosionsbeständigkeit und Haltbarkeit. Sie verfügen über standardisierte Vakuumflansche wie ISO-KF, ISO-F und CF (ConFlat), die eine einfache, leckagesichere Integration in Ihr bestehendes System gewährleisten und Austauschbarkeit garantieren.
Flexible und zuverlässige Betätigungsoptionen: Um verschiedenen Automatisierungs- und Steuerungsgraden gerecht zu werden, sind unsere Ventile mit manueller, pneumatischer und elektrischer Betätigung erhältlich. Pneumatische Stellantriebe sorgen für einen schnellen, ausfallsicheren Betrieb, während elektrische Stellantriebe eine präzise Steuerung und nahtlose Integration mit SPS- und SCADA-Systemen für vollständig automatisierte Prozesse ermöglichen.
Typische Spezifikationen
Druckbereich: 10⁵ bis 10⁻¹⁰ mbar (Atmosphäre bis UHV)
Ventiltypen: Schieber-, Eck-, Schmetterlings-, Kugel-, Pendel-, Leck-, Rückschlag- und Entlüftungsventile
Verbindungstypen: ISO-KF, ISO-F, CF (ConFlat), ANSI
Gehäusematerial: Edelstahl 304, Edelstahl 316L
Dichtungstypen: Viton (FKM), Buna-N (NBR), Metall (Kupfer, Aluminium), Ganzmetallbalg
Betätigung: manueller Hebel/Handrad, pneumatisch, elektrisch
Unser Service und Support
Wir bieten End-{0}}to-End-Support, um sicherzustellen, dass Ihre Vakuumprozesse einwandfrei laufen.
◎Fachkundige technische Beratung: Unsere Ingenieure helfen bei der Ventilauswahl und stellen Leitwertdiagramme, Kompatibilitätshinweise und maßgeschneiderte Lösungen für einzigartige Anwendungsherausforderungen bereit.
◎Vollständige Dokumentation und Zertifizierung: Wir liefern detaillierte CAD-Modelle, Installationshandbücher und Materialzertifizierungen. Für UHV-Produkte stellen wir für jedes Ventil zertifizierte Helium-Lecktestberichte zur Verfügung.
◎Globale Ersatzteile und Wartungskits: Wir verfügen über einen umfassenden Bestand an Ersatzteilen, einschließlich Dichtungssätzen, Faltenbalgbaugruppen und Stellantrieben, um die Ausfallzeiten Ihres Systems zu minimieren und die Lebensdauer des Ventils zu verlängern.
FAQ
F: Welche Art von Ventil und Dichtung sollte ich für eine Ultra-Hochvakuumanwendung (UHV) verwenden?
A: For UHV systems, all-metal sealed gate valves are the standard choice. They utilize copper or aluminum gaskets on CF flanges and feature metal-sealed stems (often with welded bellows) to eliminate elastomers. This construction can withstand high-temperature bake-out (typically >200 Grad), um Ausgasungen zu minimieren und Basisdrücke im Bereich von 10⁻¹⁰ mbar und darunter zu erreichen.
F: Warum ist ein Kugelhahn möglicherweise für Hochvakuumanwendungen ungeeignet?
A: Während sich Kugelhähne aufgrund ihrer schnellen Betätigung hervorragend für raues und mittleres Vakuum eignen, kann ihre Konstruktion zu virtuellen Lecks führen. Der Hohlraum um die Kugel kann Gas einschließen, das langsam in das System freigesetzt wird, wodurch das letztendlich erreichbare Vakuum begrenzt wird. Für Hoch- und UHV-Anwendungen werden Schieber- oder Pendelventile mit einem eher linearen Strömungsweg bevorzugt.
F: Welche Funktion hat ein Leckventil?
A: Ein Leckventil oder Gasdosierventil dient nicht der Isolierung, sondern der präzisen Dosierung. Es wird verwendet, um einen sehr kleinen, kontrollierten Gasstrom in eine Vakuumkammer einzuleiten. Dies ist wichtig für Prozesse wie Sputtern oder CVD (Chemical Vapour Deposition), bei denen ein bestimmter Partialdruck eines reaktiven Gases aufrechterhalten werden muss.
F: Was sind die Hauptvorteile eines pneumatischen Antriebs an einem Vakuumventil?
A: Die pneumatische Betätigung bietet drei Hauptvorteile: Geschwindigkeit (schnelle Öffnungs-/Schließzyklen), Sicherheit (kann für einen ausfallsicheren Betrieb zum Schließen bei Luftverlust konfiguriert werden) und Eignung (kann in Umgebungen verwendet werden, in denen elektrische Funken eine Gefahr darstellen). Sie eignen sich ideal für automatisierte zyklusbasierte Prozesse.
F: Wie wähle ich den richtigen Flanschtyp für mein System aus?
A: Die Wahl hängt von Ihrem Druckbereich und Ihrer Systemgröße ab:
ISO-KF (QF): Ideal für kleine bis mittlere Systeme im Hochvakuum (HV). Sie sind kompakt und einfach zu montieren.
ISO-F: Wird für größere Durchmesser in HV-Anwendungen verwendet, verschraubt für höhere Steifigkeit.
CF (ConFlat): Der Standard für UHV-Systeme. Ihr metallversiegeltes Design (Kupferdichtung) ermöglicht das Backen und bietet höchste Integrität.
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